Газовый шкаф (BCU) с трубными соединениями EP-класса 316L.
В полупроводниковых специальных системах подачи газа используется сталь 316L EP класса φ6,35&ndash12,7 мм. нержавеющая трубка. LPM обеспечивает плоскую торцевую поверхность без заусенцев, которая предотвращает попадание частиц в суставе. После торцовки ЛПМ конец трубы входит в сварочную головку FXT20+C5/C10.