Трубки из нержавеющей стали 316L класса EP для систем подачи газа.
В трубопроводах полупроводникового газового шкафа (BCU) используются трубы из нержавеющей стали 316L EP-класса φ6,35&ndash12,7 мм с толщиной стенок 0,9–1,5 мм. Любой заусенец, непрямоугольный конец или термическое повреждение конца трубки становятся источником частиц внутри системы подачи газа. CM3 — при весе 20 кг достаточно мал, чтобы работать внутри рабочего процесса в шкафу — образует чистую квадратную торцевую поверхность холодной резки, которая подается непосредственно в процесс орбитальной сварки FXT20 + C-series без дальнейшей правки.
