ガス供給システム用の EP グレード 316L ステンレス チューブ。
半導体ガス キャビネット (BCU) の配管には、壁厚 0.9 ~ 1.5 mm の Φ6.35 ~ 12.7 mm 316L EP グレードのステンレス チューブが使用されています。チューブ端のバリ、非直角端、または熱損傷は、ガス供給システム内の粒子発生源となります。 CM3 -重量は 20kg で、キャビネットのワークフロー内で操作するのに十分な小ささです。きれいな四角い冷間切断端面が生成され、追加のドレッシングなしで FXT20 + C-series 軌道溶接プロセスに直接導入されます。
