Tuyau en acier inoxydable 316L de qualité EP pour systèmes de distribution de gaz.
La tuyauterie de l'armoire à gaz à semi-conducteurs (BCU) utilise un tube en acier inoxydable de qualité EP 316L de φ6,35 à 12,7 mm avec des épaisseurs de paroi de 0,9 à 1,5 mm. Toute bavure, extrémité non carrée ou dommage thermique à l'extrémité du tube devient une source de particules à l'intérieur du système de distribution de gaz. Le CM3 - à 20 kg, suffisamment petit pour fonctionner dans un flux de travail en armoire - produit une face d'extrémité coupée à froid propre et carrée qui alimente directement le processus de soudage orbital FXT20 + C-series sans autre dressage.
