Industrie 01 · Semi-conducteur et amp; UHP

Le contrôle de l'oxydation des billes internes n'est pas une allégation. Cela fait partie de la préparation du projet UHP.

UHP La distribution de gaz pour les usines de fabrication de plaquettes s'effectue en fonction du nombre de particules, de la couleur des cordons de soudure et des données prêtes à être auditées. pas sur la réputation du soudeur. La tête à chambre fermée C-series et la source d'alimentation FXT20 sont l'équipement FYID-Feiyide conçu pour cette contrainte.

SEMI F20 UHP norme de distribution de gaz
ISO Classe 4 Grade 10 prêt pour les salles blanches
SUS316L VIM/VAR Tube électropoli
C5 · C10 &milieu; C40 Têtes FYID recommandées
01 / Le problème de l'ingénierie

Un nombre de particules supérieur à la classe ISO 5 tue le rendement. Le soudage à l’intérieur de l’enveloppe de la salle blanche détermine ce nombre.

UHP La distribution de gaz aux usines de fabrication de plaquettes fournit des gaz de traitement – azote, argon, hydrogène, silane — à travers des tubes en acier inoxydable où l'intérieur du joint constitue la surface de travail. Toute oxydation, libération de particules ou profil de soudure non conforme aux spécifications devient une source de contamination dans l'usine. La contamination n'est pas visible sur la radiographie. Cela apparaît dans le rendement de la tranche deux semaines plus tard.

La réalité géométrique est encore plus difficile : la plupart des soudures UHP ont lieu lors de la construction ou de la rénovation d'une usine, à l'intérieur d'une salle blanche de niveau 10 partiellement active. Les appareils de soudage pleine grandeur ne passent pas à travers les habillages. L'équipement doit être suffisamment compact pour pouvoir rouler dans une douche à air sans démontage.

La norme qui nomme ce problème est SEMI F20 — le niveau de couleur des billes intérieures, la finition de surface et les critères de libération de particules sont les critères par rapport auxquels les ingénieurs d'assurance qualité fabuleux se mesurent. Les soudures qui répondent aux normes F20 satisfont également aux étapes de nettoyage chimique humide et à sec en aval sans surprises.

02 / Exigences techniques

Les non-négociables pour le soudage UHP de qualité fab.