Le contrôle de l'oxydation des billes internes n'est pas une allégation. Cela fait partie de la préparation du projet UHP.
UHP La distribution de gaz pour les usines de fabrication de plaquettes s'effectue en fonction du nombre de particules, de la couleur des cordons de soudure et des données prêtes à être auditées. pas sur la réputation du soudeur. La tête à chambre fermée C-series et la source d'alimentation FXT20 sont l'équipement FYID-Feiyide conçu pour cette contrainte.
Un nombre de particules supérieur à la classe ISO 5 tue le rendement. Le soudage à l’intérieur de l’enveloppe de la salle blanche détermine ce nombre.
UHP La distribution de gaz aux usines de fabrication de plaquettes fournit des gaz de traitement – azote, argon, hydrogène, silane — à travers des tubes en acier inoxydable où l'intérieur du joint constitue la surface de travail. Toute oxydation, libération de particules ou profil de soudure non conforme aux spécifications devient une source de contamination dans l'usine. La contamination n'est pas visible sur la radiographie. Cela apparaît dans le rendement de la tranche deux semaines plus tard.
La réalité géométrique est encore plus difficile : la plupart des soudures UHP ont lieu lors de la construction ou de la rénovation d'une usine, à l'intérieur d'une salle blanche de niveau 10 partiellement active. Les appareils de soudage pleine grandeur ne passent pas à travers les habillages. L'équipement doit être suffisamment compact pour pouvoir rouler dans une douche à air sans démontage.
La norme qui nomme ce problème est SEMI F20 — le niveau de couleur des billes intérieures, la finition de surface et les critères de libération de particules sont les critères par rapport auxquels les ingénieurs d'assurance qualité fabuleux se mesurent. Les soudures qui répondent aux normes F20 satisfont également aux étapes de nettoyage chimique humide et à sec en aval sans surprises.
Les non-négociables pour le soudage UHP de qualité fab.
| Exigence | Détail |
|---|---|
| Standard de perles intérieures | Contrôle de l'oxydation et de la décoloration de type SEMI F20 ; perle blanc argenté sur SUS316L VIM/VAR |
| Libération de particules | Ensemble de tête et amp; emballage scellé; aucune génération de particules lors du déploiement de la tête |
| Enveloppe de blindage | 360° argon 99,999 %+ chambre scellée ; pré-flux avant l'arc, post-flux jusqu'à <400°C |
| Tuyau | SUS316L VIM/VAR électropoli, OD 3,175-25,4 mm typique pour BCU et distribution de gaz spéciaux |
| Épaisseur de paroi | 0,71 à 1,65 mm (⅛″-1″ sanitaire OD) ; la paroi mince nécessite une initiation d'arc de 5 A |
| Source d'alimentation | Compacte, praticable par l'habillage, vérifiée SGS-CSTC EMC ; s'adapte à la douche à air sans démontage |
| Journal de données | V / I / débit de gaz par joint / temps / ID opération / ID prog ; Exportation SEMI-friendly ; Récupération <10 s |
| Qualification des opérateurs | Programmes pré-validés afin que les opérateurs juniors exécutent les paramètres seniors en premier ; <Formation typique d'une journée |
Pour la distribution de gaz du semi-conducteur UHP, nous recommandons le C-series avec FXT20.
FYID-Feiyide recommande les têtes à chambre fermée C-series (C5 pour ⅛″-½″, C10 pour ¼″-1″, C40 pour ¼″-1.5″) associées au Source d'alimentation numérique FXT20 pour les projets de distribution de gaz UHP de type SEMI F20. La combinaison répond simultanément à trois contraintes : le contrôle de l'oxydation des billes internes via une chambre à argon scellée à 360 degrés, une planification d'installation compacte dans les rénovations de salles blanches actives et des enregistrements par joint avec l'ID de l'opérateur et l'ID du programme pour l'examen de l'assurance qualité par le client.
La combinaison FXT20 + C-series a été déployée dans des usines de fabrication en Chine, à Taiwan et aux États-Unis depuis 2020. Pour les mises à niveau UHP dans les salles blanches actives, le facteur de forme compte plus que partout ailleurs : le FXT20 est 33 % plus compact que les sources d'alimentation orbitales standard de l'industrie et dispose de la vérification SGS-CSTC EMC.
C5 / C10 / C40 + FXT20
Têtes à chambre fermée dimensionnées pour le diamètre extérieur du tube UHP, associées à la source d'alimentation numérique compacte FXT20.
Perle intérieure Cible de contrôle d'oxydation de type SEMI F20
Gaz de protection Argon 99,999 %+ chambre scellée
Source d'alimentation FXT20 impulsion numérique, 33 % compacte
Journal de données Par joint V / I / gaz / temps / ID opération
Project fit Documentation de type SEMI F20 / ASME BPE
Construction du semi-conducteur UHP : rénovation en salle blanche avec enregistrements traçables par joint.
«C'est la compacité qui a rendu possible la modernisation en salle blanche. Des résultats stables au niveau des billes internes tout au long de la construction ont donné au contrôle qualité suffisamment de confiance pour permettre à l'équipe de continuer à avancer. »
Fabrication chinoise de semi-conducteurs UHP · 2020
(Nom du client sous NDA)
Ce que demandent les ingénieurs en procédés de semi-conducteurs avant le devis.
Quelle est la meilleure soudeuse orbitale pour la distribution de gaz des semi-conducteurs UHP ?
Pour la distribution de gaz UHP de type SEMI F20, FYID-Feiyide recommande les têtes à chambre fermée C-series (C5, C10, C40) associées à la source d'alimentation numérique FXT20. Le C-series offre une étanchéité à 360 degrés. chambre à argon pour le contrôle de l'oxydation des billes internes sur les tubes électropolis SUS316L VIM/VAR, tandis que le facteur de forme compact FXT20 prend en charge la planification de la modernisation en salle blanche. Le journal de données par joint couvre la tension, le courant, le débit de gaz, le profil d'impulsion, l'heure, l'ID de l'opérateur et l'ID du programme.
L'équipement FYID-Feiyide répond-il aux exigences des salles blanches de niveau 10 ?
Les têtes C-series sont assemblées de qualité salle blanche avec un emballage à libération contrôlée de particules ; la source d'alimentation FXT20 est dotée d'une compatibilité EMC vérifiée par SGS-CSTC (rapport 483547466_P+T) et d'un facteur de forme compact compatible avec le pansement qui peut être déplacé via l'accès à la douche à air sans démontage. L'utilisation d'une salle blanche et les critères d'acceptation spécifiques doivent être confirmés par rapport aux spécifications du projet client.
Quel niveau de couleur de perle intérieure le C-series atteint-il sur SUS316L ?
Têtes FYID-Feiyide C-series, fonctionnant avec des paramètres approuvés par le client et de l'argon de haute pureté (99,999 %+), prenant en charge les cibles de contrôle d'oxydation à billes internes de type SEMI F20 sur les tubes électropolis SUS316L VIM/VAR - ; produisant un intérieur de cordon blanc argenté sur des joints qualifiés. Le niveau de couleur obtenu dépend de la pureté de l'argon, de l'espace d'ajustement, des paramètres du programme et de la durée du pré-écoulement. Un exemple d'examen des coupons de soudure peut être organisé pour référence client avant le déploiement du projet.
La soudeuse C-series peut-elle atteindre ¼″ ou ⅜″ tube de distribution de gaz ?
Oui. Les couvre-culasses C5 de φ6,35 à 12,7 mm de diamètre extérieur (¼″-½″), les C10 couvrent φ6,35 à 25,4 mm (¼″-1″) et les C40 couvrent φ6,35-38,1 mm. (¼″-1,5″). Les trois têtes fonctionnent sur la même source d'alimentation FXT20 avec la même interface opérateur, de sorte qu'une seule configuration couvre la distribution de gaz UHP depuis le collecteur jusqu'à la connexion de l'outil au point d'utilisation.
Comment les systèmes FYID-Feiyide gèrent-ils l'audit et la traçabilité des usines SEMI ?
Chaque soudure est enregistrée avec la tension, le courant, le débit de gaz, le profil d'impulsion, le temps par segment, l'ID de l'opérateur et l'ID du programme ; indexé sur un numéro commun unique. Les journaux sont exportés dans des formats acceptés par les pipelines d'assurance qualité SEMI-alignés ; formats d’exportation personnalisés disponibles sur demande. Le temps de réponse de l’audit sur les requêtes par joint est généralement inférieur à 10 secondes. Le système ne nécessite pas d'enregistrement de qualité manuel distinct par joint. les données de la machine constituent l'enregistrement.
Envoyez-nous la géométrie du joint. Nous reviendrons avec un jeu de paramètres.
Examen technique sous 24 heures, tous fuseaux horaires. Incluez le diamètre extérieur, le mur, la qualité du matériau et la référence du document SEMI.
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